Passat ඉන්ධන පොදු දුම්රිය පීඩන සංවේදකය 06E906051K සඳහා අදාළ වේ
නිෂ්පාදන හැඳින්වීම
1. පීඩන සංවේදකයක් සෑදීමේ ක්‍රමයක්, සමන්විත වන්නේ:
අර්ධ සන්නායක උපස්ථරයක් සැපයීම, අර්ධ සන්නායක උපස්ථරය මත පළමු අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්ථරයක්, පළමු අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්ථරයක් සහ දෙවන අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්ථරයක් සාදනු ලැබේ.
පළමු අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්ථරයේ පහළ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ තහඩුවක්, පළමු අන්‍යෝන්‍ය ඉලෙක්ට්‍රෝඩයක් පහළ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ තහඩුව මෙන් එකම ස්තරය මත පිහිටා ඇති අතර පරතරයකින් යුක්ත වේ.
සම්බන්ධක ස්ථර;
පහළ ධ්රැවීය තහඩුවට ඉහලින් පූජා ස්ථරයක් සෑදීම;
පළමු අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්ථරය, පළමු අන්තර් සම්බන්ධතා ස්තරය සහ පූජා ස්තරය මත ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ තහඩුවක් සෑදීම;
පූජා ස්තරය සෑදීමෙන් පසු සහ ඉහළ තහඩුව සෑදීමට පෙර, පළමු අන්තර් සම්බන්ධතා ස්ථරයේ
සම්බන්ධතා වලක් සෑදීම සහ පළමු අන්තර් සම්බන්ධතා ස්තරය සමඟ විද්යුත් වශයෙන් සම්බන්ධ කිරීම සඳහා ඉහළ තහඩුව සමඟ සම්බන්ධතා වලක් පිරවීම;හෝ,
ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ තහඩුව සෑදීමෙන් පසු, ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ තහඩුවේ සහ පළමු අන්තර් සම්බන්ධතා ස්ථරයේ සම්බන්ධක කට්ට සෑදී ඇත.
ඉහළ ඉලෙක්ට්‍රෝඩ තහඩුව සහ සම්බන්ධතා වලේ පළමු අන්තර් සම්බන්ධතා ස්තරය සම්බන්ධ කරන සන්නායක තට්ටුවක් සෑදීම;
ඉහළ තහඩුව සහ පළමු අන්තර් සම්බන්ධතා ස්තරය විද්යුත් ලෙස සම්බන්ධ කිරීමෙන් පසු, කුහරයක් සෑදීමට පූජා ස්ථරය ඉවත් කරන්න.
2. හිමිකම් 1 ට අනුව පීඩන සංවේදකයක් සෑදීමේ ක්‍රමය, එහි පළමු ස්ථරයේ
අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්තරය මත පූජා ස්තරය සෑදීමේ ක්‍රමය පහත පියවර වලින් සමන්විත වේ:
පළමු අන්තර් ස්ථර පාර විද්යුත් ස්ථරය මත පූජා ද්රව්ය තට්ටුවක් තැන්පත් කිරීම;
පූජා ස්තරයක් සෑදීමට පූජා ද්රව්ය ස්ථරය රටා.
3. හිමිකම් 2 ට අනුව පීඩන සංවේදකය සෑදීමේ ක්‍රමය, එහිදී ඡායාරූපකරණය සහ කැටයම් භාවිතා කරනු ලැබේ.
පූජා ද්රව්ය ස්තරය කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියෙන් රටා කර ඇත.
4. හිමිකම් 3 අනුව පීඩන සංවේදකයක් සෑදීමේ ක්‍රමය, එහි පූජා ස්ථරය
ද්රව්යය අස්ඵටික කාබන් හෝ ජර්මනියම් වේ.
5. හිමිකම් 4 අනුව පීඩන සංවේදකයක් සෑදීමේ ක්‍රමය, එහි පූජා ස්ථරය
ද්රව්යය අස්ඵටික කාබන්;
පූජා ද්රව්ය ස්තරය කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේදී භාවිතා කරන Etching වායූන් O2, CO, N2 සහ Ar;
පූජා ද්රව්ය ස්තරය කැටයම් කිරීමේ ක්‍රියාවලියේ පරාමිතීන් වන්නේ: O2 හි ප්‍රවාහ පරාසය 18 SCCM ~ 22 SCCM වන අතර CO හි ප්‍රවාහ අනුපාතය 10% වේ.
ප්‍රවාහ අනුපාතය 90 SCCM සිට 110 SCCM දක්වා, N2 හි ප්‍රවාහ අනුපාතය 90 SCCM සිට 110 SCCM දක්වා සහ Ar හි ප්‍රවාහ අනුපාතය පරාසයක පවතී.
පරාසය 90 SCCM ~ 110 SCCM වේ, පීඩන පරාසය 90 mtor ~ 110 mtor වේ, සහ පක්ෂග්රාහී බලය වේ
540w-660w.
නිෂ්පාදන පින්තූරය
සමාගමේ විස්තර
සමාගමේ වාසිය
ප්රවාහන
නිති අසන පැණ
ආශ්රිත නිෂ්පාදන
