කාර්ටර් කැණීම් යන්ත්‍රය සඳහා එන්ජින් පීඩන සංවේදකය 2CP3-68 1946725
නිෂ්පාදන හැඳින්වීම
පීඩන සංවේදකයක් සකස් කිරීමේ ක්‍රමයක්, පහත පියවර වලින් සමන්විත වේ:
S1, පසුපස මතුපිටක් සහ ඉදිරිපස මතුපිටක් සහිත වේෆරයක් සැපයීම;වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට පයිසොරෙස්ටිව් පටියක් සහ දැඩි ලෙස මාත්‍රණය කළ ස්පර්ශක ප්‍රදේශයක් සෑදීම;වේෆරයේ පිටුපස මතුපිට කැටයම් කිරීමෙන් පීඩන ගැඹුරු කුහරයක් සෑදීම;
S2, වේෆර් පිටුපස ආධාරක පත්රයක් බැඳීම;
S3, වේෆරයේ ඉදිරිපස පැත්තේ ඊයම් සිදුරු සහ ලෝහ වයර් නිෂ්පාදනය කිරීම සහ වීට්ස්ටෝන් පාලමක් සෑදීම සඳහා piezoresistive තීරු සම්බන්ධ කිරීම;
S4, වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට තැන්පත් කිරීම සහ නිෂ්ක්‍රීය තට්ටුවක් සෑදීම, සහ ලෝහ පෑඩ් ප්‍රදේශයක් සෑදීම සඳහා උදාසීන ස්ථරයේ කොටසක් විවෘත කිරීම.2. හිමිකම් 1 ට අනුව පීඩන සංවේදකයේ නිෂ්පාදන ක්‍රමය, S1 නිශ්චිතව පහත පියවර වලින් සමන්විත වේ: S11: පසුපස මතුපිටක් සහ ඉදිරිපස මතුපිටක් සහිත වේෆරයක් සැපයීම සහ වේෆරය මත පීඩන සංවේදී පටලයක ඝනකම නිර්වචනය කිරීම;S12: වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට අයන තැන්පත් කිරීම භාවිතා කරයි, piezoresistive තීරු නිෂ්පාදනය කරනු ලබන්නේ ඉහළ උෂ්ණත්ව විසරණ ක්‍රියාවලියක් මගිනි, සහ ස්පර්ශක ප්‍රදේශ දැඩි ලෙස මාත්‍රණය කර ඇත;S13: වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට මත ආරක්ෂිත තට්ටුවක් තැන්පත් කිරීම සහ සැකසීම;S14: පීඩන සංවේදී පටලයක් සෑදීම සඳහා වේෆරයේ පිටුපස පීඩන ගැඹුරු කුහරයක් කැටයම් කිරීම සහ සෑදීම.3. හිමිකම් 1 ට අනුව පීඩන සංවේදකයේ නිෂ්පාදන ක්‍රමය, එහි වේෆරය SOI වේ.
1962 දී, Tufte et al.ප්‍රථම වරට විසරණය වූ සිලිකන් piezoresistive තීරු සහ සිලිකන් පටල ව්‍යුහය සහිත piezoresistive පීඩන සංවේදකයක් නිපදවා, piezoresistive පීඩන සංවේදකය පිළිබඳ පර්යේෂණ ආරම්භ කළේය.1960 දශකයේ අගභාගයේ සහ 1970 දශකයේ මුල් භාගයේදී, සිලිකන් ඇනිසොට්‍රොපික් එචිං තාක්‍ෂණය, අයන තැන්පත් කිරීමේ තාක්‍ෂණය සහ ඇනෝඩික් බන්ධන තාක්‍ෂණය යන තාක්‍ෂණ තුනක පෙනුම පීඩන සංවේදකයේ විශාල වෙනස්කම් ඇති කළ අතර එය පීඩන සංවේදකයේ ක්‍රියාකාරිත්වය වැඩි දියුණු කිරීමේදී වැදගත් කාර්යභාරයක් ඉටු කළේය. .1980 ගණන්වල සිට, ඇනිසොට්‍රොපික් කැටයම්, ලිතෝග්‍රැෆි, විසරණ මාත්‍රණය, අයන තැන්පත් කිරීම, බන්ධනය සහ ආලේපනය වැනි ක්ෂුද්‍ර යන්ත්‍ර තාක්‍ෂණයේ තවදුරටත් වර්ධනයත් සමඟ පීඩන සංවේදකයේ ප්‍රමාණය අඛණ්ඩව අඩු වී ඇත, සංවේදීතාව වැඩි දියුණු කර ඇති අතර ප්‍රතිදානය ඉහළ මට්ටමක පවතී. කාර්ය සාධනය විශිෂ්ටයි.ඒ අතරම, නව ක්ෂුද්‍ර යන්ත්‍ර තාක්‍ෂණයේ දියුණුව සහ යෙදීම පීඩන සංවේදකයේ පටල ඝණකම නිවැරදිව පාලනය කරයි.
නිෂ්පාදන පින්තූරය
සමාගමේ විස්තර
සමාගමේ වාසිය
ප්රවාහන
නිති අසන පැණ
ආශ්රිත නිෂ්පාදන
