කාටර් කැණීම්කරු සඳහා එන්ජින් පීඩන සංවේදකය 2CP3-68 1946725

පීඩන සංවේදකයක් සකස් කිරීමේ ක්රමවේදයක්, පහත දැක්වෙන පියවර වලින් සමන්විත සංලක්ෂිත වේ:

එස් 1, පිටුපස මතුපිටක් සහ ඉදිරිපස මතුපිටක් සහිත වේෆරයක් සැපයීම; පියසිස්ටිව් ස්ට්රිප් එකක් සහ අධික ලෙස මාත්රිත සම්බන්ධතා ප්රදේශයක් වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට. වේෆරයේ පිටුපස මතුපිට එච්ච්චා කිරීමෙන් පීඩන ගැඹුරු කුහරයක් ඇති කිරීම;

S2, වේෆරයේ පිටුපස ආධාරක පත්රයක් බන්ධනය කිරීම;

එස් 3, වේෆරයේ ඉදිරිපස පැත්තේ මී ඊයම් සිදුරු සහ ලෝහ වයර්, තිරිඟුස්ටන් පාලමක් සෑදීම සඳහා පීසෙනිස්ටිව් තීරු සම්බන්ධ කිරීම;

එස් 4, වේෆරයේ ඉදිරිපස පෘෂ් on ය මත ගමන් කිරීම හා ගමන් කිරීම සහ ගමන් කිරීම සඳහා ගතවන ස්ථරයේ කොටසක් ලෝහ පෑඩ් ප්රදේශයක් පිහිටුවීම සඳහා වෙන් කිරීම සහ සකස් කිරීම. 2. S22: අයන බද්ධ කිරීම වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට භාවිතා කරයි, පියුසියස් විවරය තීරුවල ඉහළ උෂ්ණත්ව විසරණය කිරීමේ ක්රියාවලියක් මගින් නිෂ්පාදනය කරනු ලැබේ, සම්බන්ධතා කලාප දැඩි ලෙස මාත්රණය වේ; S13: වේෆරයේ ඉදිරිපස මතුපිට ආරක්ෂිත තට්ටුවක් තැන්පත් කිරීම සහ සෑදීම; එස් 14: පීඩාවේ පිටුපස ඇති වේෆරයේ පිටුපස පීඩන ගැඹුරු කුහරයක් පිහිටුවීම සඳහා පීඩන සංවේදී චිත්රපටයක් පිහිටුවීම. 3. පීඩන සංවේදකයේ නිෂ්පාදන ක්රමය 1, එහිදී වේෆර් සෝයි ය.

1962 දී ටුෆ්ට් සහ වෙනත් අය. විචක්ෂණකාරී සිලිකන් පියුසියන් විවර තීරු සහ සිලිකන් චිත්රපට ව්යුහය සමඟ පළමු වරට සිලිකන් චිත්රපට ව්යුහය සමඟ පියසෙන්ස් ප්විටිව් පීඩන සංවේදකයක් නිෂ්පාදනය කළේය. 1960 දශකයේ අගභාගයේදී සහ 1970 දශකයේ මුල් භාගයේදී, එනම් සිලිකන් ඇනිසොට්රොපික් එච්. 1980 දශකයේ සිට, ඇනිසොට්රොපික් එච්. ඒ අතරම, නව මයික්රොමීටරින් කිරීමේ තාක්ෂණයේ සංවර්ධනය හා යෙදුම සංවර්ධනය කිරීම නිවැරදිව පාලනය කරන පීඩන සංවේදකවල thickness ණකම නිරූපණය කරයි.