Piezoresistive සංවේදකයේ ව්යුහය

මෙම සංවේදකය තුළ, සිලිකන් piezoresistive චිපයක් සෑදීම සඳහා ඒකාබද්ධ කිරීමේ ක්‍රියාවලිය මගින් ප්‍රතිරෝධක තීරුව මොනොක්‍රිස්ටලීන් සිලිකන් ප්‍රාචීරය මත ඒකාබද්ධ කර ඇති අතර, මෙම චිපයේ පරිධිය කවචය තුළ ස්ථාවර ලෙස ඇසුරුම් කර ඇති අතර ඉලෙක්ට්‍රෝඩ ඊයම් පිටතට ගෙන යනු ලැබේ. ඝන-තත්ත්ව පීඩන සංවේදකය ලෙසද හැඳින්වෙන Piezoresistive පීඩන සංවේදකය ඇලවුම් වික්‍රියා මාපකයට වඩා වෙනස් වන අතර, ප්‍රත්‍යාස්ථ සංවේදී මූලද්‍රව්‍ය හරහා බාහිර බලය වක්‍රව දැනිය යුතු නමුත් සිලිකන් ප්‍රාචීරය හරහා මනින ලද පීඩනය කෙලින්ම දැනේ.

සිලිකන් ප්රාචීරයේ එක් පැත්තක් මනින ලද පීඩනය සමඟ සන්නිවේදනය කරන අධි පීඩන කුහරයක් වන අතර අනෙක් පැත්ත වායුගෝලය සමඟ සන්නිවේදනය කරන අඩු පීඩන කුහරයකි. සාමාන්‍යයෙන්, සිලිකන් ප්‍රාචීරය ස්ථාවර පරිධිය සහිත කවයක් ලෙස නිර්මාණය කර ඇති අතර විෂ්කම්භය සහ ඝණකම අනුපාතය 20 ~ 60 පමණ වේ. P අපිරිසිදු ප්‍රතිරෝධක තීරු හතරක් වෘත්තාකාර සිලිකන් ප්‍රාචීරය මත දේශීයව විසරණය කර සම්පූර්ණ පාලමකට සම්බන්ධ කර ඇත, ඉන් දෙකක් සම්පීඩක ආතති කලාපයේ සහ අනෙක් දෙක ප්රාචීරයෙහි කේන්ද්රය සම්බන්ධයෙන් සමමිතික වන ආතන්ය ආතති කලාපයේ වේ.

මීට අමතරව, හතරැස් සිලිකන් ප්රාචීරය සහ සිලිකන් තීරු සංවේදකය ද ඇත. සිලිකන් සිලින්ඩරාකාර සංවේදකය ද සිලිකන් සිලින්ඩරයේ ස්ඵටික තලයක නිශ්චිත දිශාවකට විසරණයෙන් ප්‍රතිරෝධක තීරු වලින් සාදා ඇති අතර ආතන්ය ආතති ප්‍රතිරෝධක තීරු දෙකක් සහ සම්පීඩක ආතති ප්‍රතිරෝධක තීරු දෙකක් සම්පූර්ණ පාලමක් සාදයි.

Piezoresistive සංවේදකය යනු අර්ධ සන්නායක ද්රව්යයේ piezoresistive බලපෑම අනුව අර්ධ සන්නායක ද්රව්යයේ උපස්ථරය මත විසරණ ප්රතිරෝධය මගින් සාදන ලද උපකරණයකි. එහි උපස්ථරය මිනුම් සංවේදකයක් ලෙස සෘජුවම භාවිතා කළ හැකි අතර, විසරණ ප්රතිරෝධය පාලමක ආකාරයෙන් උපස්ථරය තුළ සම්බන්ධ වේ.

උපස්ථරය බාහිර බලයෙන් විකෘති වූ විට, ප්‍රතිරෝධක අගයන් වෙනස් වන අතර පාලම අනුරූප අසමතුලිත ප්‍රතිදානය නිපදවයි. piezoresistive සංවේදක ලෙස භාවිතා කරන උපස්ථර (හෝ ප්රාචීර) ප්රධාන වශයෙන් සිලිකන් වේෆර් සහ ජර්මනියම් වේෆර් වේ. සංවේදී ද්‍රව්‍ය ලෙස සිලිකන් ෙව්ෆර් වලින් සාදන ලද සිලිකන් පයිසොරෙස්ටිව් සංවේදක වැඩි වැඩියෙන් අවධානයට ලක්ව ඇත, විශේෂයෙන් පීඩනය සහ වේගය මැනීම සඳහා ඝන-තත්ත්ව පීසෝරෙසිස්ටිව් සංවේදක වඩාත් බහුලව භාවිතා වේ.